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集成电路制造工艺新上映_集成电路制造工艺与工程应用pdf(2024年11月抢先看)

内容来源：麦吉窗影视所属栏目：导读更新日期：2024-11-28

集成电路制造工艺

半导体新人必读：5本书籍推荐嘿，半导体行业的萌新们！作为一个过来人，我完全理解你们现在的焦虑。摆平心态去看那些高深的理论书籍确实不容易。所以，我特意整理了一些我个人觉得非常有帮助的书籍，希望能帮到你们。这些书不仅是我自己读过的，而且在我职业生涯中也起到了重要作用。下面我会按照阅读顺序和适用岗位来推荐这些书。《纳米集成电路制造工艺》这本书是我入行的引路人，由大佬张汝京主编。虽然我已经很多年没翻开过第一版了，但它确实让我对半导体产生了浓厚兴趣。不过，这本书更适合有一定基础的人，尤其是铜制程的PIE/PDE和Thin Film。光刻部分相对较少，逻辑性也不强，前段HK工艺几乎是突然出现的，很多术语如侧墙（SPACER）也没有解释。所以，如果你是初学者，建议先看第二本书。《纳米CMOS集成电路-从基本原理到专用芯片实现》这本书非常适合初学者，图文并茂，深入浅出。虽然深度不够，但对于初学者来说已经足够了，尤其是DIFF PE部分非常详细。这本书的逻辑性很强，即使有些内容已经过时，但先入门再看第一本会更好。《集成电路制造工艺与工程应用》这本书的作者是前SMIC资深大佬温德通，非常适合PIE以及想了解制程发展历史的小伙伴。如果你在工作中想转PIE，这本书绝对不容错过。能深入地读完这本书，绝对可以上手菜鸟PIE而不是纯小白。《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》这本书我非常喜欢，特别适合光刻PE的入门。虽然名字叫“先进光刻”，但绝对不影响成熟制程的小伙伴阅读与入门。这本书非常详尽，即使已经不出版了，价格也翻了好几倍。我手里的那本绝对不会卖。《衍射极限附近的光刻工艺》这本书更适合已经入门的光刻PE，主要涉及到先进的光刻工艺，理论性极强。里面涉及的内容很多是TWINSCAN机台的内容，不是那种玩DUV 750&850和I-LINE PAS550的深度可以比的，建议谨慎阅读。《等离子刻蚀》这本书纯粹是为了和ETCH的人打交道买的，内容反正我能啃下来，也能帮助我理解ETCH的制程。推荐先进制程里ETCH的小伙伴阅读。希望这些推荐能帮到你们，缓解一下焦虑！加油！𐟒ꀀ

跟着国运走，未来可期，什么是集成电路专业？高门槛，高回报的集成电路专业家长考生眼中的顶尖高校和实际的顶尖高校！集成电路科学与工程（硕士学科代码1401）属于“交叉学科”门类的新兴一级学科，在本科专业目录中，一般认为微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统、电子科学与技术等专业是学习集成电路的优先选项。集成电路科学与工程是研究集成电路设计与测试、半导体材料与器件、集成电路制造工艺、集成电路封装、传感技术与微机电系统及其相关的工程技术领域。本领域覆盖电子科学与技术、信息与通信工程、计算机科学与技术等学科领域，涉及电路与系统、微电子学与固体电子学、电磁场与微波技术、信号与信息处理、计算机系统结构、计算机软件技术和计算机应用等相关学科领域。适合学习集成电路相关专业的学生，除了有浓厚兴趣外，有三个特质是学好相关专业的有力保障：一是有较好的数理基础，能够快速掌握集成电路所需的理论知识；二是对不同方面的知识都充满好奇，渴望尝试交叉学科中的不同领域，为后续综合运用打下基础；三是有较强的动手能力，喜欢亲自上手实践，善于发现实际工程中的问题与挑战。引自：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院教授、副院长胡远奇示意图引自：国外电子与通信教材系列——《超大规模集成电路与系统导论》 #高考志愿填报# #选专业# #半导体#

半导体自学指南：从入门到进阶 𐟔 对于刚开始接触或准备进入半导体行业的人来说，这里有一些书籍推荐，帮助你从基础到高级逐步了解半导体技术。这些书籍涵盖了半导体物理、制造技术、芯片设计和工艺等多个方面，适合不同层次的读者。 1️⃣ 《半导体物理学》第七版（刘恩科）这本书是半导体物理学的经典教材，内容全面且深入，涵盖了半导体的基础理论、器件物理和应用。书中还包含大量的例题和习题，帮助读者巩固知识。适合本科生、研究生以及从事半导体研究的科研人员。 2️⃣ 《半导体制造技术导论》这本书简明扼要地介绍了半导体制造的基本流程和技术，包括晶圆制备、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工艺。书中还涉及了半导体制造中的质量控制和环境保护等内容。适合初学者和希望快速了解半导体制造流程的读者。 3️⃣ 《图解芯片技术》通过图文并茂的方式，这本书详细解释了芯片设计、制造和测试的各个环节。内容涵盖了从基础的电路设计到复杂的制造工艺，适合视觉学习者。适合对芯片技术感兴趣的初学者和非专业人士。 4️⃣ 《集成电路制造工艺》这本书详细介绍了集成电路制造的各个工艺步骤，包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等。书中还讨论了工艺参数的优化和工艺集成的问题。适合从事集成电路制造的工程师和技术人员。 5️⃣ 《半导体功率器件基础》这本书专注于半导体功率器件的物理原理和应用，包括功率二极管、晶闸管、MOSFET、IGBT等。书中还讨论了功率器件的设计和制造技术。适合从事功率电子和电力电子领域的工程师和研究人员。 6️⃣ 《半导体物理学》上下册（中国科学技术大学）这套书籍系统地介绍了半导体物理学的基本理论和应用。上册主要涵盖半导体的基础知识、能带理论、载流子统计、输运现象等；下册则深入探讨了半导体器件的物理原理，如二极管、晶体管、光电器件等。适合本科生、研究生以及对半导体物理有深入了解需求的工程师。

集成电路工程技术学什么？集成电路工程技术学什么，这是一门深邃而广袤的学科领域，它如同电子世界的建筑师，构筑着信息时代的基石。在集成电路工程技术的殿堂里，学子们首先需奠定坚实的理论基础，如同构建高楼大厦的地基，高等数学、线性代数、概率论与数理统计等学科知识，为后续的专业探索铺设了坚实的数学之路。电子科学与技术则是这一领域不可或缺的砖石，模拟电子技术、数字电子技术等课程内容，如同精心雕琢的电子元件，在学生的知识体系中熠熠生辉。而半导体物理与器件、集成电路制造工艺基础等课程的学习，则让学生仿佛置身于微观世界的工厂，亲手操作着光刻、蚀刻、离子注入等精密工艺，将理论转化为实践的力量。设计环节，学生们将运用EDA工具，如同挥舞着电子设计领域的魔法棒，绘制出电路的蓝图，进行仿真与优化，确保每一个电子元件都能和谐共生，共同编织出复杂的电路网络。封装与测试，则是为这些精心打造的电路披上保护的外衣，进行严格的性能验证，确保它们在各种环境下都能稳定可靠地工作。此外，集成电路工程技术还涉及广泛的实践环节，从电工实训到封装测试项目实训，每一次动手操作都是对知识的深化与巩固，让学生们在实践中成长为集成电路领域的佼佼者。综上所述，集成电路工程技术的学习，既是一场知识的盛宴，也是一次实践的磨砺，它引领着学子们探索电子世界的无限可能。

𐟔祺”用电子技术专业探秘𐟔 𐟓š核心课程大揭秘：想要掌握应用电子技术的精髓吗？那就来了解一下这些核心课程吧！单片机原理与应用系统设计、电子线路设计与制版技术，还有集成电路封装技术等等，每一门都是通往电子技术巅峰的必经之路。𐟓– 𐟒ꦠ𘥿ƒ技能get：学完这些课程，你将具备哪些超凡技能呢？集成电路设计及应用开发能力、集成电路制造工艺技术能力，还有电子产品软硬开发、生产、调试检测能力等等，让你在电子技术领域游刃有余！𐟒𜊊𐟚€就业方向展望：毕业后，你可以选择从事集成电路开发设计、生产制造、封装测试和管理等工作，也可以选择电子产品开发、生产、安装、维修、调试等职业。甚至，芯片销售、技术支持及售后服务等岗位也向你敞开大门！𐟚ꊊ𐟌Ÿ专业荣誉榜：值得一提的是，我们的专业还曾荣获省级重点专业、高水平专业群专业等荣誉。更值得一提的是，我们的学生还在各类专业技能竞赛中屡获殊荣，其中省级一等奖以上就有9项之多！𐟏† 应用电子技术专业，等你来挑战！𐟒倀

【IWAPS】用于今后高端集成电路制造工艺设计的SMO软件来自Fudan University的Qiang Wu作了题为《用于今后高端集成电路制造工艺设计的SMO软件》的报告。从14 nm节点开始，引入了光源掩模联合优化(SMO)，来进一步优化给定设计规则集的照明光瞳。伴随着对掩模图形的处理和设计规则的良好理解，使用SMO可以产生所需的优化结果，使得光刻成像的效果达到最佳。在本次演讲中，我将通过几个我们自己的SMO软件——CF SMO和CF SMO EUV——的案例来提供我们对SMO的理解。

中国十大顶尖科技公司排名，你知道几个？ 1. 科大讯飞：中国领先的智能语音和人工智能公司，提供多项智能服务。大疆创新：在无人机领域全球领先，以其先进的飞行控制技术和航拍技术著称。海康威视：全球知名的视频监控产品供应商，擅长视频图像处理、存储和传输。华为：在通信技术、5G、芯片研发和智能手机等领域拥有强大核心科技。比亚迪：专注于新能源汽车电池技术、整车研发制造以及电动化和智能化。宁德时代：专注于新能源汽车动力电池系统和储能系统的研发、生产和销售。京东方：全球领先的半导体显示产品与服务提供商，不断创新显示技术。中芯国际：中国内地技术最先进、配套最完善、规模最大的集成电路制造企业之一。紫光展锐：中国领先的集成电路设计企业，在芯片设计领域有深厚的技术积累。三一重工：全球知名的工程机械制造商，推动行业智能化发展。恒瑞医药：在医药研发领域持续投入，拥有众多自主研发的创新药和核心制药技术。福耀玻璃：全球规模最大的汽车玻璃专业供应商，其玻璃制造工艺和技术领先。万华化学：在化工新材料领域不断创新，拥有核心技术和自主知识产权。隆基绿能：专注于太阳能光伏领域，提供光伏产品研发和生产技术支持。潍柴动力：在动力系统领域有深厚的技术底蕴，其发动机研发制造技术领先。

中国AI领域最强的15家公司 1. 科大讯飞 𐟓š - 作为中国顶尖的智能语音与人工智能上市公司，科大讯飞在行业中发挥着引领作用。大疆创新 𐟚 - 凭借在无人机领域的全球领先地位，以及先进的飞行控制和航拍技术，大疆创新展现出强大的竞争力。海康威视 𐟓𙠭 作为世界著名的视频监控产品供应商，海康威视在视频图像处理、存储及传输技术上拥有核心优势。华为 𐟓𑠭 在通信技术、5G网络、芯片开发及智能手机等多个领域均具备领先的核心技术，华为是全球信息与通信技术解决方案的领导者。比亚迪 𐟚— - 通过其在新能源汽车电池技术和整车研发制造上的卓越成就，特别是在电动化和智能化方面，比亚迪促进了整个行业的发展。宁德时代 𐟔‹ - 致力于新能源汽车动力电池系统和储能系统的研制、生产和销售，宁德时代的技术水平在全球范围内处于前列。京东方 𐟖寸 - 作为一家全球领先的半导体显示产品和服务提供商，京东年在显示技术领域不断取得突破性进展，并持有多项关键专利。中芯国际 𐟌 - 作为中国内地最具规模且技术最为先进的集成电路制造商之一，中芯国际不仅拥有完善的配套设施，还在芯片制造工艺上掌握了重要技术。紫光展锐 𐟓ᠭ 在中国集成电路设计行业中占据重要地位，积累了丰富的经验和专业知识，形成了独特的竞争优势。三一重工 𐟏—️ - 以其在工程机械领域的深厚积累而闻名遐迩，从产品研发到生产制造都体现了高水平的技术实力，推动了该行业向智能化转型。恒瑞医药 𐟒Š - 长期专注于医药领域的研究与发展，开发出多种具有自主知识产权的新药，成为中国医药市场的佼佼者。福耀玻璃 𐟪Ÿ - 作为全球最大的汽车玻璃制造商之一，福耀玻璃凭借其卓越的生产工艺和技术创新能力，在市场上占据了不可动摇的地位。万华化学 𐟧꠭ 持续探索化工新材料的应用前景，特别是在聚氨酯材料、石油化工产品以及精细化工品等方面取得了显著成绩。隆基绿能 𐟌🠭 专注于太阳能光伏产业的研究与发展，凭借其在相关领域的技术创新能力，成为了国际知名的清洁能源企业。潍柴动力 𐟚œ - 以其深厚的动力系统研发背景著称，尤其是在内燃机设计与生产方面达到了世界先进水平，为多个行业提供了强有力的支持。

离子注入机：集成电路制造的关键技术 𐟛 ️ 离子注入工艺是集成电路制造中不可或缺的一环。简单来说，就是把离子加速到一定的能量（通常在keV到MeV之间），然后注入到固体材料的表层，从而改变材料的物理性质。在集成电路中，这个固体材料通常是硅，而注入的杂质离子则包括硼、磷、砷、铟、锗等。这些离子可以改变硅的电导率，或者形成PN结。离子注入在集成电路制造中有多种应用，比如深埋层、倒掺杂阱、阈值电压调节、源漏扩展注入、源漏注入、多晶硅栅掺杂、形成PN结和电阻/电容等。在绝缘体上硅衬底材料的制备中，高浓度氧离子注入被用来形成埋氧层，而高浓度氢离子注入则用于实现智能切割。离子注入的过程是通过离子注入机来实现的，其中最重要的两个工艺参数是剂量和能量。剂量决定了最终的杂质浓度，而能量则决定了离子的射程（也就是深度）。根据不同的器件设计需求，注入的条件可以分为大剂量高能量、中剂量中能量、中剂量低能量或大剂量低能量等。为了获得理想的注入效果，需要针对不同的工艺要求选择合适的注入机。离子注入后，通常需要进行高温退火过程，以修复离子注入导致的晶格损伤，同时激活杂质离子。在传统集成电路工艺中，虽然退火温度对掺杂有很大影响，但离子注入工艺本身的温度并不重要。然而，在14nm以下的技术节点，某些离子注入工艺需要在低温或高温环境下进行，以改变晶格损伤的影响。当具有一定能量的入射离子束轰击固体靶片时，离子与靶面的原子会经历多种不同的交互作用。离子通过一定的方式将能量传递给靶原子，使其激发或电离，同时离子也可能通过动量转移而失去一定的能量，最后被靶原子散射出去或停止在靶材料中。如果注入的离子较重，大多数离子会被注入固体靶中；反之，如果注入的离子较轻，许多注入离子将从靶面上反弹。这些被注入靶内的高能离子，会与固体靶内的晶格原子及电子产生不同程度的碰撞。其中，离子与固体靶原子的碰撞可以视为一种弹性碰撞。总之，离子注入机是集成电路制造中的关键设备之一，它通过精确控制剂量和能量来实现对固体材料表层的精准改造。

武汉大学电子信息学院：学长学姐的真心话嘿，大家好！今天想跟大家聊聊我在武汉大学电子信息学院的经历，顺便给想报考这个专业的同学们一些小建议。电子工程学院的悠久历史和雄厚实力 𐟓š 电子工程学院可是我们学校最早开设的院系之一，真的是见证了学校的成长。这个学院不仅承担了国家骨干校重点专业建设，还参与了国家现代学徒制试点专业建设、国家优质校双师基地建设等多个项目。学院开设了智能光电技术应用、电子信息工程技术、现代通信技术、集成电路技术、工业互联网技术、机电一体化技术（含中外合作）等专业，全日制在校学生有2000多人。师资力量和实训基地 𐟑颀𐟏밟‘袀𐟎“ 学院的师资队伍也很强大，有20多名教授和副教授，还有2名产业教授和8名博士。学院拥有激光双师培训基地、西门子自动化中心等国家级、省级实训基地，各类设备总值近8000万元。这些设备和资源为学生的学习和实习提供了很好的保障。与行业龙头企业的紧密合作 𐟏튊学院还与烽火通信、华星光电等行业头部企业共建了烽火产业学院、昱升光电学院、华星光电产业学院等多个紧密依托型的校外实训基地。这种校企合作的模式不仅为学生提供了充足的实习机会，还大大提高了毕业生的就业率，就业质量也非常高，毕业生就业率稳定保持在96%以上。智能光电技术应用专业 𐟌Ÿ 这个专业是国家骨干校重点专业，也是教育部现代学徒制试点专业。主要研究光电设计和激光应用，课程内容非常丰富，应用领域也很广泛。毕业后可以从事光电产品设计、开发、维护等工作，真的是信息产业发展的主干专业。电子信息工程技术专业 𐟓𖊊电子信息工程技术专业伴随着电子、通信、信息和计算机技术的发展而建立。主要研究电子信息工程系统集成和产品开发等方面的基本知识和技能。这个专业的内涵非常丰富，应用领域也很广泛，是推动信息产业发展和提升传统产业的重要专业。集成电路技术专业 𐟛 ️ 集成电路技术专业是智能光电专业群的重点建设专业。主要课程包括电子技术基础与仿真理论、PCB设计与电子产品制作、SMT技术、单片机原理及应用、FPGA技术、智能电子应用技术、集成电路制造工艺、集成电路封装与检测、集成电路版图设计等。这个专业的毕业生在集成电路设计和制造方面非常有竞争力。现代通信技术专业 𐟓ኊ现代通信技术专业主要服务光谷腹地的信息通信产业。面向网络与设备、工程监理、电信服务管理等方向，培养高素质技术技能人才。学院与烽火通信股份有限公司深度校企合作，共建烽火产业学院，打造人才培养建设高地。机电一体化技术专业 𐟤– 机电一体化技术专业是武汉市的品牌专业，有中俄国际合作3+2班和与俄罗斯弗拉基米尔国立大学的合作教育项目。这个专业的毕业生在机电一体化设备和系统的设计、制造、维护等方面非常有能力。总的来说，武汉大学电子信息学院的师资力量雄厚，实训设备齐全，与行业企业的合作也非常紧密。如果你对电子信息领域感兴趣，这里绝对是一个不错的选择！

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